ИЗ ИЗДАНИЯ: Брошюра дает некоторые элементарные представления о вакууме и важнейших свойствах высокоразреженного газа, знакомит читателя с техникой получения и измерения вакуума, с устройством вакуумных систем и использованием вакуума в различных областях науки, техники и промышленного производства.
Брошюра рассчитана на преподавателей и мастеров учебных заведений трудовых резервов Может быть полезна также инженерно-техническим работникам, которым по роду своей работы приходится иметь дело с различного рода вакуумной аппаратурой.

ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок.
Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.

ИЗ ИЗДАНИЯ: В книге приводится описание принципов работы и конструктивного оформления вращательных и пароструйных металлических вакуумных насосов и вакуумных агрегатов отечественного производства с указанием ряда их эксплуатационных данных.
Книга рассчитана на лиц, занимающихся выбором, монтажом и эксплуатацией вакуумного оборудования; она может служить также учебным пособием для студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области электровакуумной техники, при проектировании различных вакуумных установок.

ИЗ ИЗДАНИЯ: В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.