Березин Андрей Сергеевич

Ⓐ ⒸБерезин А.С., Мочалкина О.Р. Технология и конструирование интегральных микросхем. [Djv- 5.6M] Учебное пособие для вузов. Под редакцией И.П. Степаненко.
(Москва: Издательство «Радио и связь». Редакция литературы до электронной технике, 1983)
Скан: AAW, обработка, формат Djv: pohorsky, 2011

КРАТКОЕ ОГЛАВЛЕНИЕ:
Предисловие (3).
Глава 1. Основы планарной технологии (4).
Глава 2. Обработка кремниевых подложек (9).
Глава 3. Легирование кремния (18).
Глава 4. Эпитаксиальное наращивание слоев кремния (35).
Глава 5. Получение тонких пленок (43).
Глава 6. Фотолитография (63).
Глава 7. Технологический процесс изготовления полупроводниковых интегральных микросхем (73).
Глава 8. Технологические процессы изготовления тонкопленочных и толстопленочных гибридных интегральных микросхем (83).
Глава 9. Особенности технологии больших и сверхбольших интегральных микросхем (97).
Глава 10. Предмет и исходные предпосылки конструирования интегральных микросхем (111).
Глава 11. Электрофизические параметры структуры интегральных микросхем (116).
Глава 12. Проектирование биполярных транзисторов и диодов интегральных полупроводниковых микросхем (129).
Глава 13. Проектирование пассивных элементов биполярных интегральных полупроводниковых микросхем (159).
Глава 14. Проектирование элементов МДП-интегральных полупроводниковых микросхем (167).
Глава 15. Конструирование полупроводниковых интегральных микросхем (178).
Глава 16. Конструирование гибридных интегральных микросхем (191).
Глава 17. Конструирование больших интегральных микросхем (205).
Приложение (223).
Список литературы (227).
Предметный указатель (228).

ИЗ ИЗДАНИЯ: Рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Описаны процессы планарной технологии полупроводниковых ИС, технологические процессы производства пленочных ИС, методы проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС.
Для студентов радиотехнических и радиофизических специальностей вузов. Может быть полезна широкому кругу специалистов, занимающихся созданием интегральных микросхем и радиоэлектронной аппаратуры на их основе.